[发明专利]图案热点检测方法、验证方法以及光学邻近修正方法有效
| 申请号： | 202110193808.6 | 申请日： | 2021-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN112802007B | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 鲁苗苗;谢翔宇 | 申请（专利权）人： | 福建省晋华集成电路有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00 |
| 代理公司： | 北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 | 代理人： | 吴大建;陈敏 |
| 地址： | 362200 福建省泉州*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种图案热点检测方法、验证方法、邻近修正方法以及装置针对图案中相邻的两个特征，根据两个特征的间隙宽度容限值和两个特征分别对应的权重的乘积进行求和后确定该相邻两个特征的预设间隙阈值，基于预设间隙阈值对两个特征的间隙进行检测，当相邻两个特征的间隙小于预设间隙阈值时，确定相邻两个特征所在区域为图案的热点。从而可以有效提高热点检测的准确性，降低检测出虚拟热点的数量，同时减少热点核查时间。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 热点 检测 方法 验证 以及 光学 邻近 修正 | ||
【主权项】：
暂无信息
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