[发明专利]一种基于性能指标的半导体生产线动态调度方法在审
| 申请号： | 202110195754.7 | 申请日： | 2021-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN112947339A | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 李莉;林国义 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 200092 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于性能指标的半导体生产线动态调度方法，所述方法包括：获取半导体生产线的状态参数；将获取到的状态参数，输入预先训练的生产线性能预测模型，预测得到生产线达到最优性能指标时的预测参数；基于获取到的状态参数和预测到的预测参数，采用预先训练的参数学习模型，预测得到动态调度中所需的调度参数；将预测得到的调度参数用于预设的生产线调度策略中指导生产线正确派工进行半导体生产线动态调度。本发明能够提升生产线的整体性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 性能指标 半导体 生产线 动态 调度 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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