[发明专利]表面温度场信息获取方法有效

专利信息
申请号: 202110195899.7 申请日: 2021-02-22
公开(公告)号: CN113029348B 公开(公告)日: 2022-08-02
发明(设计)人: 黄钦文;恩云飞;付志伟;邵伟恒;董显山;来萍;王蕴辉 申请(专利权)人: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
主分类号: G01J5/48 分类号: G01J5/48;G01J5/02;G01J5/80
代理公司: 华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 郭凤杰
地址: 511300 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及微纳器件测试技术领域,公开了一种表面温度场信息获取方法。将待测样品安装于实际应用环境中,测试获取待测样品在实际应用环境中的第一频率漂移特性曲线;将待测样品固定于红外成像设备上,测试获取待测样品在红外成像设备上的第二频率漂移特性曲线;根据第一频率漂移特性曲线获取待测样品在第一功率下所对应的第一频率漂移;根据第二频率漂移特性曲线获取待测样品的第一频率漂移所对应的第二功率;对固定于红外成像设备上的待测样品施加第二功率,利用红外成像设备获取待测样品的表面温度场信息。通过建立从实际工作环境到显微红外测试环境的映射,消除了由于显微红外测试环境相对于实际工作环境的热导率存在差异而产生的测试误差。
搜索关键词: 表面 温度场 信息 获取 方法
【主权项】:
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