[发明专利]一种晶相结构的判断方法及晶相标定模板在审
| 申请号： | 202110198203.6 | 申请日： | 2021-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN112782203A | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 吴诗嫣;刘军 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N23/207 | 分类号： | G01N23/207;G01N23/2251 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 刘恋;张颖玲 |
| 地址： | 430074 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种晶相结构的判断方法，所述方法包括：提供晶相标定模板，所述晶相标定模板包括N个同心的晶相标定圆，不同所述晶相标定圆用于标定不同晶面间距的晶相结构；其中，N为大于或等于1的正整数；获取待判断样品的晶格衍射图像；将所述晶相标定模板放置在所述待判断样品的晶格衍射图像上，并使所述N个同心的晶相标定圆的圆心与所述晶格衍射图像的中心重合；基于所述晶格衍射图像中的衍射光斑与所述晶相标定圆的相对位置关系，确定所述待判断样品的晶相结构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 结构 判断 方法 标定 模板 | ||
【主权项】：
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