[发明专利]一种晶圆光刻旋转设备有效
| 申请号： | 202110201519.6 | 申请日： | 2021-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN112936076B | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 晋美玉 | 申请（专利权）人： | 唐山国芯晶源电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/04 | 分类号： | B24B29/04;B24B9/06;B24B41/06;B24B41/02;B24B55/00;B24B27/00 |
| 代理公司： | 深圳市兰锋盛世知识产权代理有限公司 44504 | 代理人： | 罗炳锋 |
| 地址： | 063000 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆光刻旋转设备，其结构包括动力底座、机体、控制板，动力底座顶面与机体底面嵌固连接，控制板嵌入于机体正面，本发明通过旋转台来对晶圆进行固定并接受来自动力底座的动力带动晶圆片旋转，在进行固定的时候，可以通过移动夹头来进行锁定，并通过夹头上设有的多个侧顶柱来提供向内的压力，令贴合结构可以受压变形并贴合于晶圆表面，通过大气压差与磨平块产生的摩擦力来阻止晶圆产生滑动，并在旋转结束后，可以通过拉出晶圆来使压轮工作，将晶圆侧表面进行再次抛光处理，有效避免了晶圆在固定过程中侧表面由于过大的夹持力而产生凹痕的现象，保障了晶圆的侧壁光滑程度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 圆光 旋转 设备 | ||
【主权项】：
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