[发明专利]一种晶圆加工用自动卸料研磨机在审
| 申请号： | 202110201561.8 | 申请日： | 2021-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN112959157A | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 牟宗娟 | 申请（专利权）人： | 牟宗娟 |
| 主分类号： | B24B7/22 | 分类号： | B24B7/22;B24B37/10;B24B37/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200000 上海市浦东新区南汇新城镇海基*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆加工用自动卸料研磨机，其结构包括机械架、旋转机构、固定台、控制面板，旋转机构上端嵌固在机械架中间下表面，旋转机构下端安装于固定台内部上端，控制面板下端左侧卡合在固定台右侧，受力机构在晶圆表面移动，对限位板下端的支撑球块产生低压力，对刮除结构研磨的阻挡力进行缓冲，避免阻挡力过大，对研磨的阻挡力进行缓冲，避免阻挡力过大产生的研磨不稳定的问题，从而在阻挡杆的阻挡下，避免研磨块产生偏移，同时弯曲的研磨块使研磨的阻力进行分散，在移动研磨时使研磨的阻力进受力均匀，防止出现阻挡力不稳定的情况，同时在的挤压下，研磨面积的减小使其能对晶圆中间进行研磨，避免晶圆中间部分与四周产生断层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆加 工用 自动 卸料 研磨机 | ||
【主权项】：
暂无信息
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