[发明专利]一种制备碳化硅粉料的方法及装置有效
| 申请号： | 202110201671.4 | 申请日： | 2021-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN112850714B | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 李加林;刘星;李斌;孙元行;刘鹏飞;李博;侯建国;刘家朋 | 申请（专利权）人： | 山东天岳先进科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B32/984 | 分类号： | C01B32/984 |
| 代理公司： | 北京君慧知识产权代理事务所(普通合伙) 11716 | 代理人： | 张伟朴 |
| 地址： | 250118 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种制备碳化硅粉料的方法及装置，该方法包括：(1)填料阶段；(2)升温阶段：将填料后的坩埚置于炉体内，对所述坩埚进行加热，控制坩埚顶端中心与坩埚顶端边缘的温度差为△T1；(3)合成阶段：保持坩埚顶端中心的温度不变，控制保温盖向上移动，控制坩埚顶端中心与坩埚顶端边缘的温度差减少至△T3，按照高温自蔓延反应合成碳化硅粉料。通过在合成阶段，控制保温盖向上移动，且同时控制坩埚顶端中心与坩埚顶端边缘的温度差减少至△T3，实现径向温梯的定向定量调节，逐渐减少径向温梯，使得粉料发生重结晶反应，形成粒径均匀的碳化硅颗粒，提高碳化硅粉料的一致性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 碳化硅 方法 装置 | ||
【主权项】：
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