[发明专利]一种用于晶圆生产的固定设备有效
| 申请号： | 202110202190.5 | 申请日： | 2021-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN112975781B | 公开（公告）日： | 2022-09-06 |
| 发明（设计）人： | 张健 | 申请（专利权）人： | 台晶(重庆)电子有限公司 |
| 主分类号： | B25B11/00 | 分类号： | B25B11/00;G03F9/00 |
| 代理公司： | 广州海藻专利代理事务所(普通合伙) 44386 | 代理人： | 张大保 |
| 地址： | 400050 *** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于晶圆生产的固定设备，其结构包括固定盘、箱体、显示器、控制板，固定盘滑动于箱体前端，显示器安装于控制板的上面，控制板电连接于箱体的左下角；本发明因夹合块夹合或打开得到的流动气体，通过导风槽吹向主块与晶圆的接触面，使附于固定器的夹合块上小颗粒得到清理，避免了晶圆在生产的过程中，由于抖动使晶圆在加工中跑偏的问题，从而晶圆的加工精度与成品率均得到提高，通过夹合块夹合或打开时，突然停止产生的惯性使挡块的起伏层上下弹动，使得残留于排屑管内部的小颗粒得到清理，防止小颗粒受气流的影响而再次跑入排屑管，造成气体不能够流通的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 生产 固定 设备 | ||
【主权项】：
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