[发明专利]一种缺陷检测方法在审
| 申请号： | 202110209860.6 | 申请日： | 2021-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN113034435A | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 徐峰 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 曹廷廷 |
| 地址： | 201315*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种缺陷检测方法，首先通过扫描机台扫描获取缺陷位置的第一坐标，然后建立扫描新坐标系，并将缺陷位置的第一坐标转换成第二坐标，接着建立图像新坐标系，图像新坐标系的原点与扫描新坐标系的原点一致，然后建立图像子坐标系，并将缺陷位置的第二坐标转换成第一坐标，最后根据缺陷位置的第一坐标拍摄得到缺陷检测图像，并根据缺陷检测图像来确定获取到的缺陷位置是否真实存在缺陷。可见，本发明通过建立具有统一固定原点的扫描新坐标系和图像新坐标系，以纠正扫描机台和图像机台间的坐标系偏差，以使得图像机台拍摄时可快速准确地找到扫描到的缺陷位置，并及时确定该缺陷位置是否真实存在缺陷，提高检测效率，保证晶圆缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 缺陷 检测 方法 | ||
【主权项】：
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