[发明专利]一种制造硅片用清洗制绒自动上料机构及其生产工艺在审

专利信息
申请号: 202110211308.0 申请日: 2021-02-25
公开(公告)号: CN113066741A 公开(公告)日: 2021-07-02
发明(设计)人: 葛平平;刘杰;笪宏飞 申请(专利权)人: 安徽绿能技术研究院有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/67;H01L31/18;C30B33/10;C30B29/06
代理公司: 合肥市元璟知识产权代理事务所(普通合伙) 34179 代理人: 司志红
地址: 230000 安徽省合*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开了一种制造硅片用清洗制绒自动上料机构及其生产工艺,该上料机构包括固定板,所述固定板上设有滑动块,所述滑动块内开设有第一凹槽,所述固定板与第一凹槽滑动连接,所述滑动块一端转动安装有转动轴,所述转动轴一端固定安装有第一齿轮,所述第一齿轮上固定安装有第二连杆,所述第二连杆的自由端转动安装有连接杆。本发明中,本装置通过自动上料机构完成去损失层、制绒、盐酸酸洗、氢氟酸酸洗和清洗等工艺流程,操作简单,不需要人工手动上料,提高了工作效率,增大了硅片的产量,避免人工手动上料失误导致硅片报废,降低硅片生产的报废率。
搜索关键词: 一种 制造 硅片 清洗 自动 机构 及其 生产工艺
【主权项】:
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