[发明专利]一种嵌套式石墨盘

摘要

本发明公开了一种嵌套式石墨盘，包括下层石墨盘，下层石墨盘的表面设有凹坑，凹坑的内壁面设有若干定位块；上层石墨盘，上层石墨盘嵌套在凹坑内，上层石墨盘的侧壁设有与定位块相配合的定位槽，上层石墨盘的上表面设有用于放置衬底的凹槽，下表面设有若干不同高度的台面，台面与下层石墨盘之间形成一层间隙距离不同的空气层；本发明的嵌套式石墨盘，能够使石墨盘与衬底间温度保持一致，实现半导体材料均匀生长。