[发明专利]一种氧化铟锡薄膜热处理及其评价方法在审
| 申请号： | 202110215926.2 | 申请日： | 2021-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN113025988A | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 单恒升;楚阳阳;徐超明;欧阳辉灿;刘胜威;梅云检;马淑芳;许并社 | 申请（专利权）人： | 陕西科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/58 | 分类号： | C23C14/58;C23C14/08;G06F30/20;G06F119/08 |
| 代理公司： | 西安鼎迈知识产权代理事务所(普通合伙) 61263 | 代理人： | 李振瑞 |
| 地址： | 710000*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： |
本发明提供了一种氧化铟锡薄膜热处理方法，使用真空管式高温烧结炉直接对氧化铟锡薄膜进行热处理，操作简单，实验误差小。本发明人对热处理后氧化铟锡薄膜的透光率和热稳定性做了客观而全面的评价，具体通过紫外‑可见‑近红外分光光度计检测低温热处理下氧化铟锡薄膜的透光率，发现热处理后的氧化铟锡薄膜在低温下透光率基本稳定。而后，又通过XPS测定进行了进一步的拟合分析，通过O |
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| 搜索关键词： | 一种 氧化 薄膜 热处理 及其 评价 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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