[发明专利]一种静电状态的容量形状异变检测在审
| 申请号： | 202110217949.7 | 申请日： | 2021-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN112857463A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 黄澄珵;黄新生 | 申请（专利权）人： | 艾极倍特（上海）半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201400 上海市奉*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种静电状态的容量形状异变检测，所述电状态的容量形状异变检测包括一个圆柱形外筒，所述圆柱形外筒以滑动装入有金属滑动轴，所述滑动轴外滑动连接有外管，且外管外设置有采样电路，所述滑动轴外设置有输出装置和电极和保护极，本发明可以制造更长的测量行程,精度和分辨率不变,大大降低了其制作成本，而控制单元电极单元可以在接下来的分钟内分离,并且保护电极可以消除电极向性可能具有的检测周围的电极的杂散电容和分布电容，电极和保护电极仅的构造，圆柱外筒等辊形状可以是自由形状，此外由于串联和平行于检测到的电容添加的半导体和电介质的电阻,精度没有降低，可有效的提高其使用范围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 静电 状态 容量 形状 检测 | ||
【主权项】：
暂无信息
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