[发明专利]一种基于模板匹配法的MEMS面内动态特性分析方法在审
| 申请号： | 202110224935.8 | 申请日： | 2021-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN112906802A | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 戴林;杜秀龙;郗胜奎;瞿关明;张翰卿 | 申请（专利权）人： | 天地伟业技术有限公司 |
| 主分类号： | G06K9/62 | 分类号： | G06K9/62 |
| 代理公司： | 天津企兴智财知识产权代理有限公司 12226 | 代理人： | 李彦彦 |
| 地址： | 300384 天津市滨海新区*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于模板匹配法的MEMS面内动态特性分析方法，包括如下步骤：S1、手动选取模板，选取MEMS器件运动视频的其中一帧图像，并选取该图像中的部分区域作为模板与输入的图像进行匹配；S2、将模板和输入的图像同时放大相同的倍数；S3、进行模板匹配定位；S4、计算相邻两帧图像之间的位移。本发明所述的基于模板匹配法的MEMS面内动态特性分析方法利用亚像素级定位算法进行面内位移的计算，在保持结果精度的前提下，使得抗干扰能力大幅提升、计算时间大幅度减少，有利于MEMS器件的指导设计制造、产品可靠性和研发效率大大提高，对于成本的降低也具有重要的意义。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 模板 匹配 mems 动态 特性 分析 方法 | ||
【主权项】：
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