[发明专利]体声波滤波器的氮化铝掺杂剂方案在审
| 申请号： | 202110226267.2 | 申请日： | 2021-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN113328032A | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | M.D.希尔 | 申请（专利权）人： | 天工方案公司 |
| 主分类号： | H01L41/187 | 分类号： | H01L41/187;H01L41/39 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 于小宁;万欣 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种声波谐振器，其包括由掺杂有铍(Be)、锶(Sr)和钠(Na)中的一种或多种的氮化铝(AlN)形成的基板材料，以增强声波谐振器的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 滤波器 氮化 掺杂 方案 | ||
【主权项】：
暂无信息
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