[发明专利]一种管靶材及其用途在审
| 申请号： | 202110227697.6 | 申请日： | 2021-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN113025971A | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;侯娟华 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C4/067;C23C4/16 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种管靶材及其用途，所述管靶材包括管体及内孔，所述内孔两端分别设置有第一螺孔和第二螺孔，所述第一螺孔内设置有第一螺纹，所述第二螺孔内设置有第二螺纹，所述管体侧面设置有铬硅合金层；所述管靶材结构简单，易加工，将所述管靶材应用于溅射镀膜中，使用效果良好能够满足更高层次的要求，延长了使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 管靶材 及其 用途 | ||
【主权项】：
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