[发明专利]一种基于硅转接板的芯片倒装焊方法在审

专利信息
申请号: 202110228007.9 申请日: 2021-03-02
公开(公告)号: CN113035728A 公开(公告)日: 2021-06-25
发明(设计)人: 王莎鸥;余春雷;何军键 申请(专利权)人: 北京无线电测量研究所
主分类号: H01L21/60 分类号: H01L21/60
代理公司: 北京正理专利代理有限公司 11257 代理人: 陈君智
地址: 100854*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明的一个实施例公开了一种基于硅转接板的芯片倒装焊方法,在金凸点植球机和倒焊机中执行,该方法包括:利用所述金凸点植球机对芯片植金凸点;响应于用户的第一操作,设置所述芯片的安全高度,用于防止操作过程中所述倒焊机的吸头损坏;响应于用户的第二操作,设置所述芯片的搜索高度,用于完整识别所述芯片;响应于用户的第三操作,设置所述芯片的倒装焊参数;响应于用户的第四操作,所述芯片与硅转接板图像聚焦;响应于用户的第五操作,所述芯片与硅转接板图像重合;响应于用户的第六操作,拾取和倒装焊所述芯片。本申请所述技术方案使得芯片凸点与硅转接板精密连接,有效提升了倒装焊的可靠性,具有广泛的应用前景。
搜索关键词: 一种 基于 转接 芯片 倒装 方法
【主权项】:
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