[发明专利]一种基于硅转接板的芯片倒装焊方法在审
申请号: | 202110228007.9 | 申请日: | 2021-03-02 |
公开(公告)号: | CN113035728A | 公开(公告)日: | 2021-06-25 |
发明(设计)人: | 王莎鸥;余春雷;何军键 | 申请(专利权)人: | 北京无线电测量研究所 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60 |
代理公司: | 北京正理专利代理有限公司 11257 | 代理人: | 陈君智 |
地址: | 100854*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明的一个实施例公开了一种基于硅转接板的芯片倒装焊方法,在金凸点植球机和倒焊机中执行,该方法包括:利用所述金凸点植球机对芯片植金凸点;响应于用户的第一操作,设置所述芯片的安全高度,用于防止操作过程中所述倒焊机的吸头损坏;响应于用户的第二操作,设置所述芯片的搜索高度,用于完整识别所述芯片;响应于用户的第三操作,设置所述芯片的倒装焊参数;响应于用户的第四操作,所述芯片与硅转接板图像聚焦;响应于用户的第五操作,所述芯片与硅转接板图像重合;响应于用户的第六操作,拾取和倒装焊所述芯片。本申请所述技术方案使得芯片凸点与硅转接板精密连接,有效提升了倒装焊的可靠性,具有广泛的应用前景。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 转接 芯片 倒装 方法 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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