[发明专利]基于MEMS工艺的敞口式石英玻璃微型F-P腔传感结构有效
| 申请号： | 202110232693.7 | 申请日： | 2021-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN112902995B | 公开（公告）日： | 2022-10-18 |
| 发明（设计）人： | 郑永秋;崔娟;贾平岗;薛晨阳;韩源;陈佳敏;花晓强;陈晨;武丽云 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01D5/353 | 分类号： | G01D5/353 |
| 代理公司： | 重庆萃智邦成专利代理事务所(普通合伙) 50231 | 代理人： | 许攀 |
| 地址： | 030051*** | 国省代码： | 山西;14 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及基于MEMS工艺的敞口式石英玻璃微型F‑P腔传感结构，具体而言，涉及法珀腔领域。本申请提供的基于MEMS工艺的敞口式石英玻璃微型F‑P腔传感结构包括：第一光纤、第二光纤、插芯和腔体结构，由于该腔体结构设置有底层、第一中间层和第二中间层和顶层，第一中间层和第二中间层相互平行设置在底层的表面，且第一中间层和第二中间层之间具有间隙，顶层设置在第一中间层和第二中间层远离底层的一侧，则该底层、第一中间层和第二中间层和顶层形成了法珀腔，则进入到该腔体结构的光信号在法珀腔内部时，在该腔体内进行多次反射，形成干涉光。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 mems 工艺 敞口 石英玻璃 微型 传感 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中北大学，未经中北大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110232693.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：具有变道防撞系统的混合动力车辆
- 下一篇：客流量分析方法及系统、电子设备
