[发明专利]抗蚀刻组合物在审
| 申请号： | 202110233684.X | 申请日： | 2021-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN113075862A | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 陈厚福;黄坤源;吴允中;侯天杰 | 申请（专利权）人： | 长春人造树脂厂股份有限公司;长春化工(江苏)有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/027 |
| 代理公司： | 北京汇智英财专利代理事务所(普通合伙) 11301 | 代理人： | 何佳 |
| 地址： | 中国台湾台北*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种抗蚀刻组合物，该抗蚀刻组合物的闪火点为60℃以上，且包含树脂组分以及溶剂组分，其中该溶剂组分具有第一溶剂及第二溶剂，第一溶剂的闪火点为60℃以上，第二溶剂的闪火点小于60℃。溶剂组分的含量为以100重量份的抗蚀刻组合物计为30重量份至70重量份，且第二溶剂的含量以溶剂组分总重量计为1重量%至30重量%。该树脂组分选自以下群组：丙烯酸系树脂、酚醛树脂、环氧树脂及其组合。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 组合 | ||
【主权项】：
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