[发明专利]用于集成电路的裂纹检测和监视系统在审
| 申请号： | 202110234036.6 | 申请日： | 2021-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN113497004A | 公开（公告）日： | 2021-10-12 |
| 发明（设计）人： | 尼可拉斯·A·帕罗莫夫;D·布罗伊尔;E·D·亨特-施罗德;B·J·文德尔;D·许 | 申请（专利权）人： | 格芯（美国）集成电路科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 贺月娇;杨晓光 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及用于集成电路的裂纹检测和监视系统。本公开的实施例提供了一种用于检测和监视集成电路(IC)中的裂纹的系统，包括：至少一条导电的周边线(PLINE)，其围绕形成在IC的非工作区域中的保护结构延伸并与保护结构电隔离，其中，IC的工作区域被包围在保护结构内；电路，其用于感测至少一条PLINE的电特性的变化，该电特性的变化指示在IC的非工作区域中裂纹的存在；以及连接结构，其用于将每条PLINE电耦接到感测电路。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 集成电路 裂纹 检测 监视 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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