[发明专利]一种93K测试机与待测产品的匹配性检测系统及其检测方法在审
| 申请号： | 202110234625.4 | 申请日： | 2021-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN113075521A | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 傅郁晓;杨恭亁;骈文胜;路峰;关姜维 | 申请（专利权）人： | 上海伟测半导体科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海领洋专利代理事务所(普通合伙) 31292 | 代理人： | 罗晓鹏 |
| 地址： | 200013 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种93K测试机与待测产品的匹配性检测系统及其检测方法，其中所述检测方法包括：(S1)分别被设置能够采集93K测试机的配制信息和待测晶圆的测试项有关信息；(S2)自动地接收经由采集而获取的所述93K测试机的配制信息，并将所述配制信息转录于晶圆生产厂商记载晶圆测试项有关的模板所定义的一比对模板；(S3)比对所述待测晶圆的测试项有关信息和转录于所述比对模板中的信息；和(S4)输出所述比对结果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 93 测试 产品 匹配 检测 系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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