[发明专利]近零磁空间中的基于形变测量的介电弹性体主动隔微振装置

摘要

一种近零磁空间中的基于形变测量的介电弹性体主动隔微振装置；该装置主要由微位移执行器、形变测量系统和相关驱动控制器组成。本发明考虑了外界环境引起的屏蔽墙面产生的振动，并对这种微型振动进行主动隔绝。近零磁空间中磁噪声抑制的介电弹性体主动隔微振装置直接作用于振动墙面上，既能减小磁屏蔽室随大地一起做低频振动产生的磁噪声，又能较小由于环境中的噪声、气体流动、人走路等因素作用到屏蔽墙面带来的振动引发的微弱磁噪声，本发明所提出的主动隔振方法可以在以往隔振方法的基础上取得更好的隔振效果。