[发明专利]石英晶体厚度检测装置有效
| 申请号： | 202110237575.5 | 申请日： | 2021-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN113280725B | 公开（公告）日： | 2022-10-28 |
| 发明（设计）人： | 刘玉栋;巩向辉;田峻瑜;方华斌 | 申请（专利权）人： | 歌尔微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/06 | 分类号： | G01B7/06 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 梁馨怡 |
| 地址： | 266100 山东省青岛市崂*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开一种石英晶体厚度检测装置，石英晶体厚度检测装置包括检测组件、石英晶体检测电路以及控制电路，检测组件包括两个检测极板，两个检测极板之间用于放置待检测的石英晶片。石英晶体检测电路分别与两个检测极板连接，用于检测两个检测极板之间形成的电容的振荡频率。控制电路的数据输入端与石英晶体检测电路的输出端连接，并用于根据振荡频率确定形成的电容的电容值，并根据电容值确定石英晶片的厚度。上述方案解决石英晶体厚度检测精度较低的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 石英 晶体 厚度 检测 装置 | ||
【主权项】：
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