[发明专利]一种基于DMD的光刻设备数据传输系统及其方法有效
| 申请号： | 202110238507.0 | 申请日： | 2021-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN112905514B | 公开（公告）日： | 2023-09-22 |
| 发明（设计）人： | 胡丹峰;张林;王加俊;方二喜;邹玮;胡南 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | G06F13/40 | 分类号： | G06F13/40;G06F15/78 |
| 代理公司： | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 | 代理人： | 陆金星 |
| 地址： | 215000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于DMD的光刻设备数据传输系统，包括计算机和DMD板卡，所述DMD板卡包括USB接口芯片、FPGA芯片、DDR2和DMD芯片组；所述计算机作为系统中的上位机，通过发送指令控制DMD板卡进行图像显示，同时完成对矢量图形文件的解析和数据初步处理，在处理后将数据指令经由USB接口芯片发送给FPGA芯片；所述USB接口芯片用于连接USB接口和FPGA芯片，接收计算机通过上位机软件发送的数据和指令并发送给FPGA芯片；所述FPGA芯片用于接收矢量图形数据，对其进行光栅化处理后生成的位图图像数据并存储于DDR2，将存储的图像数据读取出来发送给DMD芯片组；所述DMD芯片组用于数据加载、微镜复位、块清零操作，并通过PWM脉冲宽度调制方式实现灰度图像的显示。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 dmd 光刻 设备 数据传输 系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
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