[发明专利]阴极模组及真空镀膜装置

摘要

本发明涉及一种阴极模组及真空镀膜装置，阴极模组包括阴极单元、固定板、至少一个第一加热单元以及多个第一绝缘垫，其中：第一加热单元和阴极单元分别固定在固定板相对的两侧，且阴极单元和固定板之间设置有所述第一绝缘垫，第一加热单元加热阴极单元，使得反应气体在进行反应之前被预热，以使反应气体的活性提高，并且使得阴极单元的表面维持在一定温度，能够有效抑制黄粉的产生，降低了腔体的清洗频率，从而能够提高真空镀膜的产品良率，提升设备的开动率和产量，第一绝缘垫能够将第一加热单元和阴极单元之间隔开一定的缝隙，并进行绝缘，提高了安全性，减小阴极单元和固定板之间的电容，避免阴极单元和固定板之间的气体被击穿产生辉光放电。