[发明专利]一种管状靶材的绑定方法在审
| 申请号： | 202110239268.0 | 申请日： | 2021-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN113025974A | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 盖伟;古建国;尹凯;张立新 | 申请（专利权）人： | 云南戊电靶材科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;F16B11/00 |
| 代理公司： | 武汉聚信汇智知识产权代理有限公司 42258 | 代理人： | 马尚伟 |
| 地址： | 661000 云南省红河哈尼族彝*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种管状靶材的绑定方法，属于溅射靶材制造技术领域，该一种管状靶材的绑定方法包括以下步骤：管状靶材通过结合层材料与背管紧密固定在一起，且结合层材料与背管的导热导电性能等同，本发明在低功率溅射时，管状靶材与背管之间的结合过渡层是:金属铟或铟锡合金，且合金中两元素比例大小是唯一的，铟的纯度也是唯一的；在高功率溅射时，管状靶材与背管之间的结合过渡层是:绑定专用胶、铜网或铜丝、SUS304不锈钢网或SUS304不锈钢丝、铝网或铝丝；并且在降低用料成本的同时，易于操作，提高绑定质量，避免靶材溅射使用时开裂。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 管状 绑定 方法 | ||
【主权项】：
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