[发明专利]一种氮化镓基绿光激光器及其制备方法有效
| 申请号： | 202110241949.0 | 申请日： | 2021-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN113036600B | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 贾传宇 | 申请（专利权）人： | 东莞理工学院 |
| 主分类号： | H01S5/343 | 分类号： | H01S5/343;H01S5/20 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 陈嘉毅 |
| 地址： | 523808 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种氮化镓基绿光激光器及其制备方法。氮化镓基绿光激光器，包括从下到上依次层叠设置的氮化镓单晶衬底、n‑GaN层、n‑AlGaN/GaN超晶格限制层、下波导层、有源区、p型电子阻挡层、上波导层、p‑AlGaN/GaN超晶格限制层、p‑GaN接触层；所述有源区为变温变生长速率的量子阱结构，下波导层和上波导层为梯度掺杂的复合波导层。本发明通过设置变温变生长速率的InGaN/InGaN量子阱结构作为有源区、梯度掺杂的u‑InGaN+u‑GaN+p‑GaN+p |
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| 搜索关键词： | 一种 氮化 镓基绿光 激光器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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