[发明专利]被检测体的平坦度测量装置在审
| 申请号： | 202110244239.3 | 申请日： | 2021-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN113358039A | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 林用賱 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01B11/30 |
| 代理公司： | 北京金宏来专利代理事务所(特殊普通合伙) 11641 | 代理人： | 朴英淑 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种被检测体的平坦度测量装置，包括：激光光源，配置在所述被检测体的上部并且产生具有从所述被检测体能够被反射的波长的激光；标准具干涉仪，配置在所述被检测体与所述激光光源之间，并且将所述激光变换成照射到所述被检测体的激光阵列；以及分析部，配置在所述被检测体的上部，并且利用从所述被检测体反射的激光阵列来测量所述被检测体的平坦度。因此，可精密地测量如玻璃基板这样的被检测体的平坦度，由此可通过玻璃基板的平坦度的补偿来降低显示装置的工序不良。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 平坦 测量 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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