[发明专利]管芯堆叠件的形成方法及管芯堆叠结构在审
| 申请号： | 202110246259.4 | 申请日： | 2021-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN113078125A | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 余振华;郭鸿毅;刘重希;蔡豪益;谢政杰;于宗源;曾明鸿 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/31 | 分类号： | H01L23/31;H01L25/065;H01L21/48;H01L23/498 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;李伟 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种形成管芯堆叠件的方法，包括：将第一器件管芯接合至第二器件管芯；将第一器件管芯密封在第一密封剂中；在第二器件管芯上实施背面研磨工艺，以露出第二器件管芯中的贯穿通孔；以及形成位于第二器件管芯上的第一电连接器，以形成封装件。封装件包括第一器件管芯和第二器件管芯。该方法还包括将第一封装件密封在第二密封剂中；以及形成与第一封装件和第二密封剂重叠的互连结构。互连结构包括第二电连接器。根据本申请的其他实施例，还提供了管芯堆叠结构。 | ||
| 搜索关键词： | 管芯 堆叠 形成 方法 结构 | ||
【主权项】：
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