[发明专利]一种等离子表面清洁装置

摘要

本发明是一种等离子表面清洁装置，包括主机体，所述主机体一侧设有真空泵组，所述主机体两端还设有惰性气体箱及活性气体箱，所述惰性气体箱与所述活性气体箱一侧分别设有高压电源及电控箱，所述惰性气体箱与所述活性气体箱通过管道与所述主机体相通，所述主机体内部中空形成腔体，本发明中采用石墨作为电极对活性气体与惰性气体进行电离，石墨电极与活性气体反应后生成气体，不会对被清洗半导体表面造成残留；被清洗零件以转动的方式进入不同氛围进行清洗，大幅度提升了清洗效果，而且结构简单，使用方便；被清洗零件可以转动，能够使被清洗零件的不同位置直面等离子体，确保零件表面被清洗干净。