[发明专利]检测方法、检测系统及非易失性计算机可读存储介质在审
| 申请号： | 202110248666.9 | 申请日： | 2021-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN113030107A | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 陈鲁;吴汉权;李青格乐;张嵩 | 申请（专利权）人： | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 邵泳城 |
| 地址： | 518110 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种检测方法、检测系统及非易失性计算机可读存储介质。检测方法包括：获取工件的待测区的不同位置的第一高度分布信息，工件放置在承载装置上；根据第一高度分布信息获取第二高度分布信息，第二高度分布信息的高度发生突变的节点数小于第一高度分布信息的高度发生突变的节点数；及控制驱动件根据第二高度分布信息驱动承载装置沿高度方向运动，以带动工件在高度方向上运动。本申请实施方式的检测方法、检测系统及非易失性计算机可读存储介质中，通过降低驱动件驱动承载装置的沿高度运动的频率，从而使在驱动件的运动频率在驱动件的承受范围内并保证驱动件的驱动频率满足检测系统的检测需求。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 方法 系统 非易失性 计算机 可读 存储 介质 | ||
【主权项】：
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