[发明专利]半导体存储装置在审
申请号: | 202110250478.X | 申请日: | 2021-03-08 |
公开(公告)号: | CN114203712A | 公开(公告)日: | 2022-03-18 |
发明(设计)人: | 渡会亜友美;岩崎太一;松浦修武;广津佑;松本壮太 | 申请(专利权)人: | 铠侠股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/11524 | 分类号: | H01L27/11524;H01L27/11551;H01L27/1157;H01L27/11578;G11C16/08 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 杨林勳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 实施方式的半导体存储装置包含衬底(20)、源极线(SL)、多个字线(WL)、柱(MP)、外周导电体层(62)、下层导电体层(73)、及第1接点(C3L)。源极线(SL)在核心区域(MA)中设置在衬底(20)的上方。柱(MP)的底部到达源极线(SL),与多个字线(WL)的交叉部分分别作为存储单元发挥功能。外周导电体层(62)在第1区域(WR)中包含在具备源极线(SL)的第1层中,且以包围核心区域(MA)的方式设置。下层导电体层(73)在第1区域(WR)中包含在第2层(D2)中。第1接点(C3L)在第1区域(WR)以包围核心区域(MA)的方式设置在下层导电体层(73)之上,上端包含在第1层中,且与外周导电体层(62)电连接。 | ||
搜索关键词: | 半导体 存储 装置 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的