[发明专利]半导体存储装置在审

专利信息
申请号: 202110250478.X 申请日: 2021-03-08
公开(公告)号: CN114203712A 公开(公告)日: 2022-03-18
发明(设计)人: 渡会亜友美;岩崎太一;松浦修武;广津佑;松本壮太 申请(专利权)人: 铠侠股份有限公司
主分类号: H01L27/11524 分类号: H01L27/11524;H01L27/11551;H01L27/1157;H01L27/11578;G11C16/08
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 杨林勳
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 实施方式的半导体存储装置包含衬底(20)、源极线(SL)、多个字线(WL)、柱(MP)、外周导电体层(62)、下层导电体层(73)、及第1接点(C3L)。源极线(SL)在核心区域(MA)中设置在衬底(20)的上方。柱(MP)的底部到达源极线(SL),与多个字线(WL)的交叉部分分别作为存储单元发挥功能。外周导电体层(62)在第1区域(WR)中包含在具备源极线(SL)的第1层中,且以包围核心区域(MA)的方式设置。下层导电体层(73)在第1区域(WR)中包含在第2层(D2)中。第1接点(C3L)在第1区域(WR)以包围核心区域(MA)的方式设置在下层导电体层(73)之上,上端包含在第1层中,且与外周导电体层(62)电连接。
搜索关键词: 半导体 存储 装置
【主权项】:
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