[发明专利]一种集成光波导的多层LCP光传输模块的制造方法有效
| 申请号： | 202110254480.4 | 申请日： | 2021-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN113009625B | 公开（公告）日： | 2022-06-10 |
| 发明（设计）人： | 赵飞;徐亚新;王康;刘晓兰;卢会湘;严英占;唐小平;杨宗亮;王杰;段龙帆 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第五十四研究所 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12;G02B6/13;G02B6/136 |
| 代理公司： | 河北东尚律师事务所 13124 | 代理人： | 王文庆 |
| 地址： | 050081 河北省石家庄*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种集成光波导的多层LCP光传输模块的制造方法，属于光电通信技术领域。该方法对多层覆铜LCP层进行打孔、填孔、开腔、图形化及多层层压等加工，获得具有电气互连结构、芯片装配腔体、光传输通路的LCP多层结构；并基于光波导光刻技术，在LCP无铜层表面形成45°反射面；然后将LCP多层结构与含45°反射面结构层压后，集成光电器件，通过LCP层盖帽封装，获得集成度高、可靠性高的集成光传输模块。本发明可实现光传输模块的一体化集成，并提供良好的密封保护，适用于光电通信、传输等系统的小型化、高可靠应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成 波导 多层 lcp 传输 模块 制造 方法 | ||
【主权项】：
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