[发明专利]可调控Co2有效

专利信息
申请号: 202110255553.1 申请日: 2021-03-09
公开(公告)号: CN113036034B 公开(公告)日: 2023-07-25
发明(设计)人: 李明华;陈宇;许铭扬;李阔;刘沛桥;张垚;于广华 申请(专利权)人: 北京科技大学
主分类号: H10N50/85 分类号: H10N50/85;H10N50/80;H10N50/01
代理公司: 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 代理人: 朱艳华
地址: 100083*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明属于磁性薄膜领域,尤其涉及一种可调控Co2FeX合金垂直磁各向异性的磁性薄膜材料及方法:该磁性薄膜材料包括:基底、缓冲层、磁性层、氧化物层和保护层,磁性层的磁性材料为断裂式的Co2FeX/Zr/Co2FeX,Zr占磁性层的量比为0.001‑50%,X为Al、Si或Mn中的一种或者多种。本发明的有益效果是,该磁性薄膜材料是在以Ta或者其它金属做为缓冲层和保护层,在缓冲层上沉积Co2FeX/Zr/Co2FeX,再沉积金属氧化物层,利用对氧有较强亲和力的Zr来调控Co2FeX中Co、Fe氧化物的比例,改善薄膜中输运性能,同时提高薄膜的垂直磁各向异性,以满足磁性随机存储器和磁传感器的应用需求。
搜索关键词: 调控 co base sub
【主权项】:
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