[发明专利]一种多硅片运输取送车有效
| 申请号： | 202110260310.7 | 申请日： | 2021-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN113135209B | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 吴凤丽;王燚;刘闻敏;刘振;张亚新 | 申请（专利权）人： | 拓荆科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B62B3/02 | 分类号： | B62B3/02;B62B5/00 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 程晓 |
| 地址： | 110179 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多硅片运输取送车，除了具备常规晶圆运送的功能外，还具备升降、伸缩的功能，在承托取送机构中设计有第一升降机构，该第一升降机构可带动托盘取送机构以及托盘进行升降，同时在承托取送机构中还设计有伸缩导轨，进而可实现托盘承托板的前后伸缩，带动托盘进行前后伸缩，通过伸缩功能与升降功的配合能够完成运输取送车的取送功能，以替代人工取送，使得该运输取送车在运送的基础上，还能够一次性取送大量硅片，提高硅片托盘取送效率的同时，有效解决以往人工取送硅片，容易存在高温烫伤的问题；该运输取送车，具有结构简单、设计合理、使用方便、可实现大量硅片的一次性取送、工作效率高，安全性好等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 运输 取送车 | ||
【主权项】：
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