[发明专利]光学芯片及其生产方法在审
| 申请号： | 202110260479.2 | 申请日： | 2021-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN113135547A | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 侯继东 | 申请（专利权）人： | 苏州深水渔半导体有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81B7/02;B81C1/00;G02B26/08 |
| 代理公司： | 苏州睿昊知识产权代理事务所(普通合伙) 32277 | 代理人： | 沈彬彬 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种光学芯片及其生产方法，一种光学芯片，包括：衬底层、一对转轴和微镜；所述微镜通过一对所述转轴被锚定在所述衬底层上，一对所述转轴分布在所述微镜的两侧；其中，在外加电场或磁场的作用下，所述微镜发生转动，一对所述转轴向远离所述衬底层的方向发生弯曲从而形成拱形。本发明的有益效果：一对所述转轴向远离所述衬底层的方向发生弯曲从而形成拱形，通过改变转轴的形状抑制所受外力导致转轴的向下弯曲变形，从而增大旋转角度的范围。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 芯片 及其 生产 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州深水渔半导体有限公司，未经苏州深水渔半导体有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110260479.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
