[发明专利]一种用于OLED掩膜版及坩埚清洗的组合物有效
| 申请号： | 202110262786.4 | 申请日： | 2021-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN113004980B | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 刘小勇;李丛香;房龙翔;叶鑫煌 | 申请（专利权）人： | 福建省佑达环保材料有限公司 |
| 主分类号： | C11D1/72 | 分类号： | C11D1/72;C11D3/04;C11D3/30;C11D3/20;C11D3/33;C11D3/22;C11D3/36;C11D3/60;C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人： | 刘佳;蔡学俊 |
| 地址： | 362800 福建省泉*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于OLED掩膜版及坩埚清洗的组合物，属于湿电子化学品领域，其所含各组分按质量百分数计为：无机强碱性物质5‑20%、有机碱0.5‑15%、有机助剂0.1‑50%、螯合剂0.1‑10%、PEG‑Gemini型非离子表面活性剂0.01‑10%、余量为水。本发明所得组合物能快速并有效的清洗去除蒸镀工艺中掩膜版及蒸镀设备坩埚上附着的氟化锂电极材料，且易清洗无残留，可有效提高清洗效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 oled 掩膜版 坩埚 清洗 组合 | ||
【主权项】：
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