[发明专利]光罩、显示面板在审

专利信息
申请号: 202110262879.7 申请日: 2021-03-11
公开(公告)号: CN112859507A 公开(公告)日: 2021-05-28
发明(设计)人: 练文东 申请(专利权)人: 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: G03F1/00 分类号: G03F1/00
代理公司: 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 代理人: 远明
地址: 518132 广东省深*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明实施例公开了一种光罩、显示面板。光罩包括第一开口以及围绕第一开口的掩膜条;掩膜条包括第一部分和的第二部分;其中,第二部分的平均厚度大于第一部分的平均厚度,第一部分和第二部分围成连通第一开口的总空间,总空间包括第一空间和第二空间,第一部分包括围绕第一空间的第一壁,第二部分包括围绕第二空间的第二壁,第一壁与第二壁具有接触部,第二壁在接触部处与水平面的夹角小于第一壁在接触部处与水平面的夹角。本发明实施例通过在现有光罩远离现有开口的一侧增加第二空间,增加了光罩开口边缘区域镀膜材料的容纳空间,镀膜材料在沉积过程中可以更快速达到目标膜厚,减小了未达标膜层区域的面积,改善了镀膜的工作性能。
搜索关键词: 显示 面板
【主权项】:
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