[发明专利]掩膜板组件及蒸镀设备有效
| 申请号： | 202110265765.8 | 申请日： | 2021-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN113046686B | 公开（公告）日： | 2022-08-19 |
| 发明（设计）人： | 邓江涛;徐鹏 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京博思佳知识产权代理有限公司 11415 | 代理人： | 曾莺华 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请提供一种掩膜板组件及蒸镀设备，以有效减少第一掩膜板产生褶皱的机率，有效避免边缘混色的产生。该掩膜板组件包括：框架、层叠设置于框架上的第一掩膜板和第二掩膜板；第一掩膜板包括多条沿第一方向设置的掩膜条，相邻的两个掩膜条之间设有间隙；第二掩膜板包括主体以及支撑条，支撑条包括多条沿第一方向的第一支撑条、以及多条沿第二方向设置的第二支撑条；其中，位于最外侧的第一支撑条的第一端以及位于最外侧的第二支撑条的第一端的宽度均由远离主体至靠近主体的方向逐渐递增，且第一支撑条对应于间隙设置。该蒸镀设备包括该掩膜板组件。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 组件 设备 | ||
【主权项】：
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