[发明专利]一种IGZO粉体、靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 202110266688.8 | 申请日： | 2021-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN112939576A | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 李开杰;邵学亮;张来稳;朱刘 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/01 | 分类号： | C04B35/01;C04B35/622;C04B35/626 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种IGZO粉体的制备方法，属于工业材料制备领域。本发明所述IGZO粉体制备方法中，选用特定具有分散及粘连功能的助剂与氧化物原料直接混合后，先经超声处理再研磨，既保障了粘结效果及最终产品的颗粒均一性；同时利用超声振动处理提高浆料的均匀性，避免了传统固相法中较长的研磨时间引起分散剂失效造成的团聚现象，或者粉体颗粒表面由于长时间的机械摩擦而引发稳定性降低等问题。该方法所用助剂种类少，引入杂质元素少，可降低产品的缺陷。本发明还公开了所述方法制备的IGZO粉体，该材料稳定性及均匀性高。本发明还公开了一种由所述IGZO粉体制备的IGZO靶材及其制备方法，所得IGZO靶材密度及纯度高，缺陷少，可用于工业高性能IGZO薄膜的制备中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 igzo 粉体 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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