[发明专利]材料样品坐标系确定和转换及表征点生成方法、系统、装置有效
| 申请号： | 202110266956.6 | 申请日： | 2021-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN113270155B | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 来天行;陈才;汪洪 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G16C60/00 | 分类号： | G16C60/00 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 邬嫡波 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种材料样品坐标系确定和转换及表征点生成方法、系统、装置，获取材料样品表面上预设数量的标记，并将所述标记作为参考点；获取参考点在样品台坐标系的坐标为第一坐标集U；获取参考点在设备坐标系的坐标为第二坐标集X；基于所述第一坐标集U和第二坐标集X通过预设坐标系转换算法计算所述样品台坐标系和设备坐标系的转换关系；获取在样品台坐标系需要表征的第一表征点集，基于转换关系获取所述第一表征点集在设备坐标系的第二表征点集，基于所述第二表征点集在设备坐标系绘制表征点。本发明的一种材料样品坐标系确定和转换及表征点生成方法、系统、装置，用于高通量薄膜实验样品在不同坐标系中位置的确定以及高通量表征点的生成。 | ||
| 搜索关键词： | 材料 样品 坐标系 确定 转换 表征 生成 方法 系统 装置 | ||
【主权项】：
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