[发明专利]零相位差位置寻找方法、扫描系统及存储介质有效
| 申请号： | 202110266959.X | 申请日： | 2021-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN113029366B | 公开（公告）日： | 2022-09-23 |
| 发明（设计）人： | 陈鲁;陈驰;马砚忠;杨乐;张威;白园园;张嵩 | 申请（专利权）人： | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01J9/02 | 分类号： | G01J9/02 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 邵泳城 |
| 地址： | 518110 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请提供一种零相位差位置寻找方法、扫描系统及存储介质。该方法包括：调整扫描机构的干涉物镜与待测物之间在预设方向上的相对位置，以使干涉物镜从预设的零位位置到达预设的偏移位置，在预设方向上，偏移位置与零位位置之间具有偏移量；通过扫描机构采集光谱信号，并根据光谱信号获取待测物各膜层相对零位位置之间的多个距离；及根据每个距离及偏移量确定干涉物镜相对待测物的各膜层的零相位差位置。本申请的零相位差位置寻找方法、扫描系统及存储介质中，通过干涉物镜相对零位位置的偏移量及实时计算得到的待测物的各膜层相对零位位置的距离，解算出待测物的各膜层对应的零相位差位置，缩短扫描时间，提高测量效率。 | ||
| 搜索关键词： | 相位差 位置 寻找 方法 扫描 系统 存储 介质 | ||
【主权项】：
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