[发明专利]一种单晶炉石墨加热器制备用钽箔预处理装置有效
| 申请号： | 202110271845.4 | 申请日： | 2021-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN113136582B | 公开（公告）日： | 2023-09-22 |
| 发明（设计）人： | 付钦堂 | 申请（专利权）人： | 昆明汇泉高纯半导材料有限公司 |
| 主分类号： | C23G3/00 | 分类号： | C23G3/00 |
| 代理公司： | 深圳立专知识产权代理有限公司 441000 | 代理人： | 陈文爽 |
| 地址： | 650000 云南省*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种石墨加热器制备领域，尤其涉及一种单晶炉石墨加热器制备用钽箔预处理装置。本发明要解决的技术问题是：提供一种单晶炉石墨加热器制备用钽箔预处理装置。本发明的技术方案为：一种单晶炉石墨加热器制备用钽箔预处理装置，包括有底架、控制器、酸洗箱、酸洗辅助组件、酸液清理组件和水洗组件；酸液清理组件与水洗组件相连接。本发明使用时实现了将一叠钽箔进行酸洗时，使钽箔在酸液中摆动，让钽箔各层间产生间隔，从而充分进行酸洗，酸洗后将钽箔层中酸液挤出并回收，提升酸洗效果同时节约了资源，进行水洗时，使钽箔摆动同时在侧面喷出水柱，以对钽箔充分水洗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉 石墨 加热器 制备 用钽箔 预处理 装置 | ||
【主权项】：
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