[发明专利]一种固态反射型声表面波谐振器及其制备方法在审
| 申请号： | 202110273851.3 | 申请日： | 2021-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN113162579A | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 帅垚;陶冠平;吴传贵;罗文博 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | H03H9/25 | 分类号： | H03H9/25;H03H9/02 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 闫树平 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明属于单晶薄膜器件的加工和声表面波器件领域，具体涉及一种固态反射型声表面波谐振器及其制备方法。本发明通过在反射层的至少一个低声阻抗反射层和高声阻抗反射层循环间设置至少一层多孔结构层，通过设置多孔结构层负荷电子，减小反射层间和流向基底的漏电流，并且能够起到对谐振能量有效反射的效果。最终通过反射层和其间的多孔结构层设计，本发明得到了强度高且性能优异的固态反射型声表面波谐振器；并且，制备的声表面波谐振器可以有效解决因为漏电流所导致的器件射频性能变差，难以实现宽带滤波的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 固态 反射 表面波 谐振器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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