[发明专利]一种等离子体化学气相沉积法制备光纤预制棒的装置和方法有效
| 申请号： | 202110273909.4 | 申请日： | 2021-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN113024102B | 公开（公告）日： | 2023-02-10 |
| 发明（设计）人： | 康志文 | 申请（专利权）人： | 武汉友美科自动化有限公司 |
| 主分类号： | C03B37/018 | 分类号： | C03B37/018 |
| 代理公司： | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 | 代理人： | 刘洪京 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区光谷二路以*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及光纤及光电子器件技术领域，公开了一种等离子体化学气相沉积法制备光纤预制棒的装置和方法，通过在石英管组件的中心设置中心靶棒，使该装置可以用来进行常规的等离子体化学气相沉积(常规PCVD工艺)，也可以同时相对于中心的石英棒进行等离子体外沉积，特别适合生产带低折射率包层的预制棒。同时，相比常规的PCVD工艺，在制备低折射率包层的预制棒时不需要用掺氟石英管，降低了沉积失败的风险。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 化学 沉积 法制 光纤 预制 装置 方法 | ||
【主权项】：
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