[发明专利]一种查询中断晶圆批次LOT的方法及系统在审
| 申请号： | 202110274242.X | 申请日： | 2021-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN112989141A | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 杨周凤;毛贵蕴;陈旭 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G06F16/903 | 分类号： | G06F16/903;G06Q10/10;G06Q50/04 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 周耀君 |
| 地址： | 201315*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种查询中断晶圆批次LOT的方法及系统，该方法包括：通过用户界面获取待查询的晶圆批次LOT信息，在晶圆检测系统中查询与所述LOT信息匹配的测试数据，所述测试数据包括所述LOT信息中的已测试晶圆ID、未测试晶圆ID、发生中断的中断数据及后续中断处理。通过实施本申请，能准确对晶圆批次LOT进行一键晶圆检测，自动判断LOT的测试情况。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 查询 中断 批次 lot 方法 系统 | ||
【主权项】：
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