[发明专利]超结结型场效应晶体管及其制作方法在审
| 申请号： | 202110274453.3 | 申请日： | 2021-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN113054000A | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 朱袁正;黄薛佺;杨卓 | 申请（专利权）人： | 无锡新洁能股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L29/808;H01L21/337 |
| 代理公司： | 无锡市兴为专利代理事务所(特殊普通合伙) 32517 | 代理人： | 屠志力 |
| 地址： | 214000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种超结结型场效应晶体管，包括：漏极金属，在漏极金属上设有第一导电类型硅衬底，在第一导电类型硅衬底上设有第一导电类型外延层，在第一导电类型外延层内设有互相间隔的第一导电类型柱与第二导电类型柱，在第二导电类型柱的表面设有第二导电类型体区，在第二导电类型体区内设有重掺杂的第二导电类型栅极，栅极金属与重掺杂的第二导电类型栅极连接，在第一导电类型柱的表面设有重掺杂的第一导电类型源极，源极金属与重掺杂的第一导电类型源极连接，栅极金属和源极金属之间设有隔离氧化层，栅极金属与重掺杂的第二导电类型栅极的接触面为第一上表面，源极金属与重掺杂的第一导电类型源极的接触面为第二上表面，所述第二上表面高于第一上表面。 | ||
| 搜索关键词： | 超结结型 场效应 晶体管 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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