[发明专利]一种倒装LED芯片的共晶电极结构在审

专利信息
申请号: 202110274952.2 申请日: 2021-03-15
公开(公告)号: CN112968098A 公开(公告)日: 2021-06-15
发明(设计)人: 郝锐;易翰翔;李玉珠;张洪安;武杰 申请(专利权)人: 广东德力光电有限公司
主分类号: H01L33/40 分类号: H01L33/40;H01L33/38
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 颜希文;管莹
地址: 529000 *** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种倒装LED芯片的共晶电极结构,包括自上而下依次设置的Ti金属层、Ni金属层或Ni合金层、Au金属层、以及SnAu基合金层,所述SnAu基合金层由n层Sn金属层和n层Au金属层周期性交错设置形成,其中,n≥6。本发明中的Ti金属层形成良好的欧姆接触并粘附在芯片上;Ni金属层或Ni合金层能够作为抗锡渗透的阻挡层;Au金属层用于连接Ni金属层或Ni合金层与SnAu基合金层;SnAu基合金层作为焊接层,其为多周期结构能够避免锡膏向下渗透至芯片;可见,本发明通过Ti金属层、Ni金属层或Ni合金层、Au金属层、以及SnAu基合金层的复合设计,能够提高电极的抗锡渗透性,且电极的内部结构牢固。
搜索关键词: 一种 倒装 led 芯片 电极 结构
【主权项】:
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