[发明专利]振动器件在审
| 申请号： | 202110275178.7 | 申请日： | 2021-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN113411060A | 公开（公告）日： | 2021-09-17 |
| 发明（设计）人： | 水口彰 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/09;H03H9/19 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李庆泽;邓毅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供振动器件，能够抑制振荡特性的下降。振动器件具有：半导体基板，其具有第1面和位于所述第1面的相反侧的第2面；振动片，其配置在所述第1面；电路元件，其配置在所述第1面，包含振荡电路；布线，其配置在所述第1面，将所述振动片和所述振荡电路电连接；处理电路，其配置在所述第2面，处理所述振荡电路的输出信号；以及贯通电极，其贯通所述半导体基板，将所述振荡电路和所述处理电路电连接。 | ||
| 搜索关键词： | 振动 器件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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