[发明专利]一种电触头材料表面快速沉积银镀膜方法在审
| 申请号： | 202110275952.4 | 申请日： | 2021-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN113151791A | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 王君 | 申请（专利权）人： | 宁波赉晟新材料科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/16;C23C14/02;C23C14/54;C23C14/58 |
| 代理公司： | 合肥金律专利代理事务所(普通合伙) 34184 | 代理人： | 段晓微 |
| 地址： | 315000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种电触头材料表面快速沉积银镀膜方法，将电触头基体放置在管状溅射源中部的溅射腔内，所述溅射腔内壁具有银靶材层，将所述溅射腔进行抽真空，然后通入工艺气体到到预设反溅清洗气压值，并进行反溅清洗；调整工艺气体到溅射镀膜气压值，通过对管状溅射源和电触头基体之间施加溅射电压，并对电触头基体和溅射源上下盖之间施加偏压，同时驱动电触头基体旋转，进行偏压溅射镀膜；通过将电触头基体放在筒状溅射源内，使得电触头基体位于在等离子体放电区内，提高沉积速率和靶材利用率，同时溅射时对电触头基体施加负偏压，有效引导等离子放电区内离子轰击电触头基体和银镀层，达到有效提高镀层致密性和镀层结合力的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电触头 材料 表面 快速 沉积 镀膜 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波赉晟新材料科技有限责任公司，未经宁波赉晟新材料科技有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110275952.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：无测站山区径流与遥感降水相结合的降水估算方法
- 下一篇：一种废液处理混凝装置
- 同类专利
- 专利分类
